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愛普生音叉晶體與石英光刻技術(shù)起源

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瀏覽:- 發(fā)布日期:2018-09-01 15:46:09【

應(yīng)用到石英水晶組件的光刻技術(shù)大約是上個(gè)世紀(jì)60~70年代之間,當(dāng)時(shí)第一個(gè)利用這種工藝的是美國Statek晶振公司,并且取得不錯(cuò)的成績。當(dāng)時(shí)精工愛普生晶振公司董事長服部一郎,正在為如何生產(chǎn)更小,更高精度,更低成本的設(shè)備而煞費(fèi)苦心,卻始終理不清頭緒。聽聞此消息,董事長服部一郎立刻搭乘飛機(jī)前往美國,了解到光刻技術(shù)一些資料,回國后立刻召集相關(guān)技術(shù)人員和管理者,商討研發(fā)光刻技術(shù)和如何運(yùn)用到音叉晶體生產(chǎn)計(jì)劃中去。1970年精工愛普生公司研發(fā)部門開始極其用心的鉆研,光刻技術(shù)最開始是IC最重要的制造工藝,通過應(yīng)用攝影曝光技術(shù)創(chuàng)造微觀圖案。

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在決定把光刻加入到石英晶體生產(chǎn)流程時(shí),精工愛普生公司也在擔(dān)心,這項(xiàng)技術(shù)是否真的合適用在32.768K晶振身上,為了研究透徹,內(nèi)部很快成立了一個(gè)部門,專門開發(fā)應(yīng)用到石英晶體諧振器身上的光刻技術(shù)。實(shí)行了基本的實(shí)驗(yàn)之后,工程發(fā)現(xiàn)這真的非常了不起的決定,因?yàn)槭褂昧斯饪碳夹g(shù)制造晶體之后,比他們原來的機(jī)械速度提升了10倍左右,令他們感到非常的詫異和興奮。

實(shí)驗(yàn)結(jié)果出來后,所有參與人員無不認(rèn)為這是一項(xiàng)值得他們繼續(xù)開發(fā),潛力非常的新工藝,但即使這樣,這項(xiàng)還不算成熟的技藝還不能立刻使用。兩年后他們終于在這項(xiàng)技術(shù)上,有了非常大的突破,發(fā)現(xiàn)了一種可專門運(yùn)用到音叉表晶的新電極結(jié)構(gòu),光刻技術(shù)的問題是CI值太高。但是,只有在可以清除障礙的情況下,才能獲得高流程精度所帶來的全部優(yōu)勢。原本阻礙他們的困難一下子被移除了,并且可以為他們的石英晶振產(chǎn)出許多種有友好有益的波紋效應(yīng),能在引線端子上完成氣密密封,這樣一來可以使晶體的尺寸做到更小,同時(shí)還能降低成本預(yù)算。

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1975年已經(jīng)投入到C-002RX晶振的生產(chǎn)當(dāng)中,這是全球第一款使用光刻技術(shù)量產(chǎn)的圓柱晶振,尺寸是2.0*6.0mm,可以說是舉世矚目的成功。這樣令業(yè)界震撼之后,另一個(gè)難題也悄然而至。這項(xiàng)技術(shù)雖然使精工愛普生公司的產(chǎn)量大增,成本也大幅度下降,但是生產(chǎn)出來的晶體質(zhì)量太差,每10顆晶體幾乎會有9個(gè)有問題,每月至少要量產(chǎn)50000顆,才能保障市場需求。

為此,研發(fā)部門和生產(chǎn)部門忙碌的應(yīng)對和去找原因,漸漸的開始懷疑當(dāng)初采用光刻技術(shù)的決定是否錯(cuò)誤,是不是應(yīng)該用來以前機(jī)械加工,各大部門都承受著不小的壓力。不得以又重新組建團(tuán)隊(duì),為找出問題所在,以及提高晶振質(zhì)量和產(chǎn)量的方法,成立團(tuán)隊(duì)后,第一件事就是找到產(chǎn)量降低的原因。經(jīng)小組研究過后,發(fā)現(xiàn)有缺陷的產(chǎn)品有許多針孔,是因?yàn)槭⒉牧显诳涛g過程中產(chǎn)生的,嘗試通過蝕刻去除石英晶片的整個(gè)表面層,然后在頂部形成膜。有效!沒有形成單個(gè)針孔!此前,該過程涉及在粗糙表面層的頂部形成膜,并且這導(dǎo)致了許多針孔。

愛普生音叉晶體與石英光刻技術(shù)起源

1976年經(jīng)過多重波折的C-002RX晶振終于開始銷售,EPSON晶振是一家不畏艱難,不不懼怕挑戰(zhàn)的世界一流晶體制造商,幾十年來遇到的問題均迎刃而解。一直關(guān)注著世界科技的發(fā)展,時(shí)刻為研發(fā)適用新產(chǎn)品的貼片晶振,插件晶振而準(zhǔn)備著,直到今天,仍保持著全球晶振NO.1的地位,走在業(yè)界的前端。

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